エネルギー変換エレクトロニクス実験施設

エネルギー変換エレクトロニクス実験施設“C-TEFs”は、名古屋未来材料・システム研究所のクリーンルーム実験棟です。本施設はGaN研究における結晶成長・デバイスプロセス・評価を同一スペースで行える約1,000㎡（クラス1,000：露光エリア、クラス10,000：プロセスエリア）の大空間クリーンルームを有し、研究開発の加速を図ります。