MANAGEMENT SYSTEM / USE OF FACILITIES

  • 国内企業からご支援を受け、立ち上げ・運用体制を構築し、専任のCR技術員(企業CR経験者の在籍出向)によりライン運営を行っています。
  • パワーデバイス、HEMT、光デバイスの試作を展開しています。

運営体制

運営体制

施設利用

施設利用

C-TEFs・クリーンルームの利用に際しては、次の3つの利用パターン(A、B、C)がありますので、それぞれの利用目的に応じて、利用申請の手続きを行ってください。

  • A 施設(クリーンルーム)
    利用申請手続き

    C-TEFsのクリーンルーム内に配備された利用料の課金の対象となっていない汎用設備(評価装置、顕微鏡等)を使用する場合は、施設(クリーンルーム)の利用申請のみの手続きとなります。

  • B 施設(クリーンルーム)利用
    及び設備利用の申請手続き

    C-TEFsのクリーンルーム内に配備された利用料の課金の対象となっている設備を時間単位で利用する場合は、施設(クリーンルーム)の利用申請と設備の利用申請が必要となります。

  • C 施設(クリーンルーム)利用
    及び工程利用の申請手続き

    C-TEFsのクリーンルーム内において、技術員のサポートを得て、デバイス等の試作等を行う場合は、施設(クリーンルーム)の利用申請と工程利用の申請が必要となります。

  • ※以上の手続きの他、クリーンルームに利用に際しては、C-TEFs管理室が実施するクリーンルーム利用講習会の受講が義務付けられています。
    受講していない方には、CRカードは交付されませんので、注意してください。
  • ※利用可能な設備と標準的なデバイス工程、および利用料金についてはC-TEFs管理室(Email:c-tefs*@*imass.nagoya-u.ac.jp)までお問い合わせください。(送信の際は@前後の*を除いてください)